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詳細介紹
- 特點
- 用途
- 技術(shù)參數(shù)
1.在線檢測，方便快捷；
2.大尺寸檢測空間，適應(yīng)在線整盤加工元件的數(shù)字化品控。
光學(xué)元件加工過程在線檢測，并實時給出面型測試數(shù)據(jù)，指導(dǎo)精確加工。
測量結(jié)構(gòu)：斐索干涉立式結(jié)構(gòu)
通光口徑：Φ150mm
光源波長：632.8nm(進口氦氖激光光源)
平面標準鏡：材料：石英；面型精度PV：λ/20
數(shù)字CCD：CCD分辨率1K*1K
對準方式：兩點對準
對準視場：±2°
相移解相方式：機械相移解相
干涉儀測試空間尺寸:410mm（長）*410mm（寬）*210mm（高）
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