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| 模型 | THS-10 | THS-20 | THS-206 | THS-208 |
| 測(cè)量方法 | 手動(dòng)的 | 汽車(chē) | ||
| 試樣尺寸 | 4英寸 | 6英寸 | 8 英寸 | |
| 測(cè)量區(qū)域 | X:100mm Y:100mm | X:150mm Y:150mm | X:200mm Y:200mm | |
| 解析度 | 1微米 | 0.1微米 | ||
| 重復(fù)性 | - | 1σ=0.5µm（試塊規(guī)） | ||
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