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| 顯微鏡 支架 | 旅行 | 粗調(diào) | 140mm |
| 精細(xì)可調(diào) | 25 毫米或 10 毫米 | ||
| 試樣高度 | 150mm | ||
| 照明器 | 反射 | 帶索引刻度的照明 3W 白色 LED | |
| 傳輸*（選項(xiàng)） | 遠(yuǎn)心照明 3W 白色 LED | ||
| Z軸測(cè)量 | 1μm、0.5μm和0.1μm（可選）讀數(shù)/25mm或10mm行程 | ||
| Z軸測(cè)量精度 | 3σ= 1μm（使用40×物鏡） | ||
| 觀察頭 | 架設(shè)三目鏡 | 帶電視 C 型管的雙筒望遠(yuǎn)鏡 | |
| 目標(biāo) | PLM、PLLWDM、SPLM系列 | 3×, 5×, 10×, 20×, 40×, 50×, 100× | |
| 目鏡 | NWF10X | 場(chǎng)數(shù) φ16mm 帶偏移發(fā)際線交叉十字線 | |
| 測(cè)量臺(tái) | 行程 (XY) | 50×50?100×50?100×100?150×150?200×100?200×200?300×150?300×300mm | |
| 測(cè)量精度 | X：(4+0.02L)μm, Y：(4+0.02L)μm, L：行程(mm) | ||
| 選項(xiàng) | CCD相機(jī)、監(jiān)視器、測(cè)量軟件 | ||
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