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| DCM-60 | DCM-40 | ||||||||||||||||
| 目標(biāo) （ 由客戶選擇） |
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| 目鏡 | 一對(duì)SUW10X （包括千分尺分劃板） | 一對(duì)UW10X （包括千分尺分劃板） | |||||||||||||||
| 總放大率 | 50X 至 400X（更大的放大倍數(shù)可根據(jù)客戶訂單提供。） | ||||||||||||||||
| 上物鏡移動(dòng)距離 | 24mm | 30mm | |||||||||||||||
| 下物鏡移動(dòng)距離 | 3 毫米 | 12mm | |||||||||||||||
| 篩選 | 上：綠色 / 下：紅色 | ||||||||||||||||
| 舞臺(tái)和柜臺(tái) | 150 x 150mm 手動(dòng)載物臺(tái) KC-12R 計(jì)數(shù)器（1μm 讀數(shù)） | 50 x 50mm 手動(dòng)載物臺(tái)，數(shù)字測(cè)微計(jì)（1μm 讀數(shù)） 100 x 100mm 手動(dòng)載物臺(tái)，KC-12R 計(jì)數(shù)器（1μm 讀數(shù)） | |||||||||||||||
| 舞臺(tái)旅行 | X：150mm Y：150mm | X : 50mm Y : 50mm X : 100mm Y : 100mm | |||||||||||||||
| 晶圓架 | 最大：6 英寸 | 最大：4 英寸 | |||||||||||||||
| 持有人可以在定制的基礎(chǔ)上提供特殊設(shè)計(jì)的形狀。 | |||||||||||||||||
| 舞臺(tái)旋轉(zhuǎn) | 360° | ||||||||||||||||
| 照明 | 150W鹵素光導(dǎo)照明 | ||||||||||||||||
| 材料厚度 | 20mm以下 | 30mm以下 | |||||||||||||||
| 校準(zhǔn)圖類型 | 光軸校準(zhǔn)校準(zhǔn)圖 | ||||||||||||||||
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