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蘇州芯矽電子科技有限公司


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8寸單片式清洗設(shè)備 芯矽科技

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參   考   價(jià): ￥ 10000

訂  貨  量: ≥1 臺

具體成交價(jià)以合同協(xié)議為準(zhǔn)

產(chǎn)品型號

品       牌其他品牌

廠商性質(zhì)生產(chǎn)商

所  在  地蘇州市

聯(lián)系方式：陳查看聯(lián)系方式

更新時(shí)間：2025-06-03 14:22:17瀏覽次數(shù)：44次

聯(lián)系我時(shí)，請告知來自 機(jī)床商務(wù)網(wǎng)

經(jīng)營模式：生產(chǎn)廠家

商鋪產(chǎn)品：13條

所在地區(qū)：江蘇蘇州市

聯(lián)系人：陳 （銷售）

產(chǎn)品簡介
產(chǎn)地 國產(chǎn) 超聲波功率 自定義w
超聲波頻率 自定義Hz 界面語言 中文,英文
內(nèi)槽尺寸（長×寬×高） 自定義mm 清洗槽數(shù) ≥5槽
售后保修期 24個(gè)月 外形尺寸（長×寬×高） 自定義mm
銷售區(qū)域 全國,華東,華南,華北,華中,東北,西南,西北,港澳臺,海外 重量 自定義kg
自動(dòng)化程度 全自動(dòng)    

8寸單片式清洗設(shè)備專為半導(dǎo)體晶圓制造設(shè)計(jì)，采用獨(dú)立腔體結(jié)構(gòu)實(shí)現(xiàn)單片獨(dú)立處理，避免交叉污染。設(shè)備集成化學(xué)清洗（RCA工藝）、兆聲波空化、DIW噴淋及IPA干燥技術(shù)，高效去除＞0.1μm顆粒、金屬殘留及光刻膠污染物，適用于8英寸硅片制程（如CMP后清洗、光刻前預(yù)處理）。

詳細(xì)介紹

全自動(dòng)單片晶圓清洗機(jī)專為8英寸半導(dǎo)體晶圓設(shè)計(jì)，采用獨(dú)立腔體結(jié)構(gòu)與雙臂機(jī)械手，實(shí)現(xiàn)單片晶圓的正反面高效清洗與干燥。設(shè)備兼容4-8英寸晶圓尺寸，適用于外延前清洗、CMP后處理及最終檢測前清潔等工藝，可有效去除表面顆粒（＞0.2μm）、金屬污染物（≤5E10 atoms/cm2）及有機(jī)物殘留，保障晶圓良率與制程穩(wěn)定性。

核心功能與技術(shù)優(yōu)勢

高效清洗模塊

化學(xué)藥液噴淋系統(tǒng)：支持多層級藥液（如SC-1、SC-2配方）獨(dú)立控制，噴嘴流量精確調(diào)節(jié)，避免交叉污染。

兆聲波空化技術(shù)：1MHz高頻振動(dòng)剝離亞微米級顆粒（＞0.1μm），提升復(fù)雜結(jié)構(gòu)（如STI、溝槽）潔凈度。

PVA刷洗選配：針對頑固污染物（如研磨液殘留），可選軟質(zhì)刷材輕柔刷洗，邊緣損傷率＜0.01%（厚度≥300μm）。

智能化工藝控制

程序存儲(chǔ)與調(diào)用：內(nèi)置10組工藝配方，每組支持20步程序（如預(yù)清洗→酸洗→漂洗→干燥），適配不同制程需求。

在線監(jiān)測系統(tǒng)：集成顆粒計(jì)數(shù)儀與金屬污染傳感器，實(shí)時(shí)反饋清洗效果并自動(dòng)調(diào)整參數(shù)（如延長噴淋時(shí)間）。

節(jié)能干燥技術(shù)

離心脫水+熱風(fēng)循環(huán)：高速旋轉(zhuǎn)（3000rpm）結(jié)合溫控?zé)犸L(fēng)（60-80℃），殘水率＜5ppm，兼容低K介質(zhì)晶圓。

氮?dú)獯祾弑Ｗo(hù)：可選惰性氣體環(huán)境，防止敏感材料（如GaN、SiC）氧化或二次污染。

應(yīng)用場景

前道工藝：光刻前RCA清洗，去除光刻膠殘留及氧化層2。

后道測試：封裝前最終清潔，確保芯片表面無納米級污染物。

特色工藝：功率半導(dǎo)體（SiC）、MEMS器件清洗，適配腐蝕性化學(xué)品（如BOE腐蝕液）。

選型建議

基礎(chǔ)版：單腔體配置，適用于中試線或低頻次清洗需求。

高配版：多腔體+AGV對接，適配量產(chǎn)線高效運(yùn)行，支持日夜連續(xù)生產(chǎn)。


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