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蘇州芯矽電子科技有限公司


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全自動(dòng)foup清洗機(jī) FOUP/FOSB/Cassette

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參   考   價(jià): ￥ 10000

訂  貨  量: ≥1 臺(tái)

具體成交價(jià)以合同協(xié)議為準(zhǔn)

產(chǎn)品型號(hào)

品       牌其他品牌

廠商性質(zhì)生產(chǎn)商

所  在  地蘇州市

聯(lián)系方式：陳查看聯(lián)系方式

更新時(shí)間：2025-06-03 14:09:55瀏覽次數(shù)：55次

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經(jīng)營(yíng)模式：生產(chǎn)廠家

商鋪產(chǎn)品：13條

所在地區(qū)：江蘇蘇州市

聯(lián)系人：陳 （銷售）

產(chǎn)品簡(jiǎn)介
產(chǎn)地 國(guó)產(chǎn) 超聲波功率 自定義w
超聲波頻率 自定義Hz 界面語(yǔ)言 中文,英文
內(nèi)槽尺寸（長(zhǎng)×寬×高） 自定義mm 清洗槽數(shù) ≥5槽
售后保修期 24個(gè)月 外形尺寸（長(zhǎng)×寬×高） 自定義mm
銷售區(qū)域 全國(guó),華東,華南,華北,華中,東北,西南,西北,港澳臺(tái),海外 重量 自定義kg
自動(dòng)化程度 全自動(dòng)    

全自動(dòng)FOUP清洗機(jī)專為半導(dǎo)體制造中的晶圓傳輸容器（FOUP/FOSB）設(shè)計(jì)，通過(guò)高精度清洗技術(shù)實(shí)現(xiàn)自動(dòng)化去污與干燥，確保晶圓存儲(chǔ)環(huán)境的潔凈度。

詳細(xì)介紹

全自動(dòng)FOUP清洗機(jī)專為半導(dǎo)體制造中的晶圓存儲(chǔ)與傳輸容器（FOUP/FOSB/Cassette）設(shè)計(jì)，集成噴淋清洗、超聲波空化、離心干燥等技術(shù)，實(shí)現(xiàn)自動(dòng)化去污與快速干燥。設(shè)備符合SEMI S2/S8標(biāo)準(zhǔn)，適用于制程中12英寸晶圓載具的清潔需求，可有效去除微粒、有機(jī)物、金屬污染及化學(xué)殘留，保障晶圓存儲(chǔ)環(huán)境的潔凈度（Class 10級(jí)）。

核心功能與技術(shù)優(yōu)勢(shì)

多模式清洗技術(shù)：

雙流體旋轉(zhuǎn)噴射：高速DI水與壓縮空氣混合形成旋轉(zhuǎn)射流，剝離＞0.1μm顆粒及頑固污染物，覆蓋FOUP內(nèi)壁、凹槽等復(fù)雜結(jié)構(gòu)。

超聲波空化清洗：1MHz高頻振動(dòng)分解光刻膠殘留、油脂及納米級(jí)顆粒，避免機(jī)械接觸損傷。

化學(xué)噴淋輔助：可選配HF/H?O?溶液噴淋，針對(duì)金屬腐蝕物（如銅、鋁殘留）進(jìn)行定點(diǎn)去除。

高效干燥系統(tǒng)：

離心甩干+熱風(fēng)干燥：高速旋轉(zhuǎn)（3000rpm）結(jié)合溫控?zé)犸L(fēng)（60-120℃），殘水率＜5ppm，杜絕水痕缺陷。

惰性氣體保護(hù)：可選配氮?dú)獯祾撸乐垢稍镞^(guò)程中二次污染。

自動(dòng)化與智能化：

全自動(dòng)流程：上料→清洗→漂洗→干燥→下料，全程無(wú)人干預(yù)，兼容MES系統(tǒng)對(duì)接，支持工藝參數(shù)追溯。

AI污漬識(shí)別：內(nèi)置光學(xué)檢測(cè)模塊，自動(dòng)判斷污染物類型并調(diào)整清洗強(qiáng)度（如延長(zhǎng)超聲時(shí)間或增加化學(xué)劑量）。

關(guān)鍵性能參數(shù)

參數(shù)規(guī)格
適用載具12/14英寸FOUP、FOSB、Cassette
清洗效率單循環(huán)≤15分鐘（含3次漂洗）
潔凈度表面顆粒＜3顆/cm2（≥0.2μm）
殘水率＜5ppm（離心+熱風(fēng)干燥）
化學(xué)液消耗＜50ml/循環(huán)（按需補(bǔ)償）
電源/氣源AC 380V, 50Hz / N?（純度≥99.99%）
外形尺寸1200mm×1000mm×1800mm（標(biāo)準(zhǔn)機(jī)型）

應(yīng)用場(chǎng)景

前道工藝：光刻后FOUP清潔，防止光刻膠污染新晶圓。

后道測(cè)試：存儲(chǔ)芯片的FOUP定期維護(hù)，避免氧化或微粒吸附。

光伏/化合物半導(dǎo)體：硅片承載盒清洗，兼容GaN、SiC等材料。

關(guān)鍵詞：電源

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