无码人妻久久一区二区三区免费,日本在线视频精品,欧美色图在线观看,幻女bbwxxxx,郎骑竹马来txt下载,你是我的城池营垒txt下载,gl小说打包下载

行業(yè)產(chǎn)品

  • 行業(yè)產(chǎn)品
  • 二手產(chǎn)品

蘇州芯矽電子科技有限公司


當(dāng)前位置：蘇州芯矽電子科技有限公司>>槽式清洗機>>硅片清洗設(shè)備 芯矽科技專業(yè)廠家定制化設(shè)計

硅片清洗設(shè)備 芯矽科技專業(yè)廠家定制化設(shè)計

返回列表頁

參   考   價: ￥ 10000

訂  貨  量: ≥1 臺

具體成交價以合同協(xié)議為準(zhǔn)

產(chǎn)品型號

品       牌其他品牌

廠商性質(zhì)生產(chǎn)商

所  在  地蘇州市

聯(lián)系方式：陳查看聯(lián)系方式

更新時間：2025-05-29 14:19:55瀏覽次數(shù)：50次

聯(lián)系我時，請告知來自 機床商務(wù)網(wǎng)

經(jīng)營模式：生產(chǎn)廠家

商鋪產(chǎn)品：13條

所在地區(qū)：江蘇蘇州市

聯(lián)系人：陳 （銷售）

產(chǎn)品簡介
產(chǎn)地 國產(chǎn) 超聲波功率 根據(jù)方案定制w
超聲波頻率 根據(jù)方案定制Hz 界面語言 中文,英文
內(nèi)槽尺寸（長×寬×高） 根據(jù)方案定制mm 清洗槽數(shù) ≥5槽
售后保修期 24個月 外形尺寸（長×寬×高） 根據(jù)方案定制mm
銷售區(qū)域 全國,華東,華南,華北,華中,東北,西南,西北,港澳臺,海外 重量 根據(jù)方案定制kg
自動化程度 全自動    

硅片清洗設(shè)備是半導(dǎo)體制造中的關(guān)鍵工藝設(shè)備，用于去除硅片表面的顆粒、有機物、金屬污染物及氧化層等雜質(zhì)，確保芯片性能與良率。其核心原理包括物理清洗和化學(xué)清洗。設(shè)備類型涵蓋濕法清洗臺、單片清洗機及干法清洗設(shè)備。制程中，原子級潔凈度需求推動設(shè)備向自動化、高精度調(diào)控方向發(fā)展，例如集成在線監(jiān)測（顆粒、厚度檢測）與環(huán)保處理系統(tǒng)，以適配納米級芯片對表面污染的嚴(yán)苛要求。

詳細介紹

硅片清洗設(shè)備是專為半導(dǎo)體晶圓制造設(shè)計的高效、高精度清洗系統(tǒng)，適用于12英寸及以下硅片的表面污染物去除，涵蓋顆粒、有機物、金屬殘留及氧化層等雜質(zhì)。該設(shè)備集成濕法化學(xué)清洗與干法等離子清洗技術(shù)，滿足從傳統(tǒng)制程到納米級芯片的清潔需求，確保硅片表面達到原子級潔凈度，為光刻、蝕刻、沉積等關(guān)鍵工藝提供可靠保障。

核心功能與技術(shù)特點

多模式清洗技術(shù)

濕法清洗：采用酸性（如DHF、SC-1溶液）或堿性化學(xué)液噴淋、超聲波震蕩及刷洗組合，高效去除頑固污染物。

干法清洗：可選配等離子體（O?/CF?/Ar）或紫外臭氧（UV/O?）模塊，實現(xiàn)無損傷、低殘留的有機物分解與表面活化。

兆聲波清洗：高頻兆聲波空化效應(yīng)精準(zhǔn)剝離微小顆粒，避免物理劃傷。

高精度工藝控制

噴射流系統(tǒng)：通過噴嘴陣列實現(xiàn)化學(xué)液均勻分布，配合離心旋轉(zhuǎn)確保硅片正反面同步清洗。

溫度與濃度閉環(huán)控制：實時監(jiān)測并調(diào)節(jié)清洗液溫度（±0.5℃）及濃度，保證批次間一致性。

干燥技術(shù)：集成離心甩干與惰性氣體（N?）吹掃，杜絕水痕及二次污染。

智能化與自動化

在線檢測系統(tǒng)：配備激光顆粒計數(shù)儀、橢偏儀等，實時監(jiān)測硅片表面潔凈度與膜厚變化。

全自動化流程：支持Cassette或Magazine自動上下料，兼容MES系統(tǒng)對接，實現(xiàn)清洗參數(shù)一鍵配置與數(shù)據(jù)追溯。

設(shè)備優(yōu)勢

高效產(chǎn)能：單片清洗周期≤3分鐘，支持每小時≥120片（視工藝而定），適配8英寸/12英寸硅片。

低損傷設(shè)計：非接觸式傳輸與軟刷材料（如PVA刷）減少表面劃痕，適用于薄片、翹曲片清洗。

環(huán)保節(jié)能：化學(xué)液循環(huán)過濾系統(tǒng)降低耗液量，廢液分類回收率達90%，符合RoHS環(huán)保標(biāo)準(zhǔn)。

靈活定制：可根據(jù)客戶需求擴展高溫硫酸清洗（SPM）、氣相腐蝕（如HF氣相）等模塊。

關(guān)鍵詞：清洗設(shè)備

您感興趣的產(chǎn)品PRODUCTS YOU ARE INTERESTED IN

機床商務(wù)網(wǎng) 設(shè)計制作，未經(jīng)允許翻錄必究 .? ? ? Copyright(C)?2021 http://www.1kr1.com,All rights reserved.

以上信息由企業(yè)自行提供，信息內(nèi)容的真實性、準(zhǔn)確性和合法性由相關(guān)企業(yè)負責(zé)，機床商務(wù)網(wǎng)對此不承擔(dān)任何保證責(zé)任。 溫馨提示：為規(guī)避購買風(fēng)險，建議您在購買產(chǎn)品前務(wù)必確認供應(yīng)商資質(zhì)及產(chǎn)品質(zhì)量。

會員登錄

×

請輸入賬號

請輸入密碼

=

請輸驗證碼

收藏該商鋪

請 登錄 后再收藏

提示

您的留言已提交成功！我們將在第一時間回復(fù)您~