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傳感系統(tǒng)

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產(chǎn)品型號激光干涉儀

品       牌

廠商性質(zhì)生產(chǎn)商

所  在  地

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更新時間:2022-03-25 14:01:33瀏覽次數(shù):2582次

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激光干涉儀01激光干涉儀LM-20激光干涉儀以氦氖激光器產(chǎn)生的激光波長為基礎(chǔ),應(yīng)用高穩(wěn)定度的激光穩(wěn)頻率技術(shù),獲得作為測量基準(zhǔn)的高精度激光波長

激光干涉儀

  • 01 激光干涉儀

    LM-20激光干涉儀以氦氖激光器產(chǎn)生的激光波長為基礎(chǔ),應(yīng)用高穩(wěn)定度的激光穩(wěn)頻率技術(shù),獲得作為測量基準(zhǔn)的高精度激光波長;同時使用高精度溫度、大氣壓力、濕度傳感器進(jìn)行測量環(huán)境的補(bǔ)償;并通過與外部光學(xué)鏡組配合,實現(xiàn)高精度、可重復(fù)、可溯源的相關(guān)幾何參數(shù)精度測量,是數(shù)控機(jī)床和坐標(biāo)測量機(jī)等精密設(shè)備校準(zhǔn)的理想工具。LM-20激光干涉儀延續(xù)GDLM-10激光干涉儀的高精度測量性能,同時優(yōu)化了機(jī)械結(jié)構(gòu)和使用性能。

 
  • 02 測量的基本原理

    01.LM-20激光干涉儀的激光頭發(fā)射出光波,經(jīng)過分光鏡后光波被分成兩束;
    02.固定角錐反射鏡和移動角錐反射鏡分別將光波反射回分光鏡;
    03.兩列相干光波相遇疊加,在疊加區(qū)域某些點(diǎn)的光振動始終加強(qiáng),某些點(diǎn)的光振動始終減弱,即在干涉區(qū)域內(nèi)振動強(qiáng)度有穩(wěn)定的空間分布;
    04.最終在光靶上形成了明暗相間的干涉條紋,當(dāng)兩束滿足干涉條件的光路徑發(fā)生相對變化時(即移動角錐反射鏡時),其干涉條紋也將發(fā)生變化,利用特殊的計數(shù)裝置對干涉條紋進(jìn)行計數(shù),就可以知道移動角錐反射鏡的位置變化量,從而實現(xiàn)對線性位移進(jìn)行測量的目的。

  • 03 產(chǎn)品優(yōu)勢

          高激光頻率穩(wěn)定度
    激光穩(wěn)頻標(biāo)稱精度±0.05ppm,實際計量結(jié)果 0.02ppm,為激光干涉儀測量提供高精度基準(zhǔn)。中國計量科學(xué)研究院是的計量檢測機(jī)構(gòu),激光干涉的檢定數(shù)據(jù)均來自于中國計量科學(xué)研究院。
          精密的環(huán)境參數(shù)測量能力
    環(huán)境溫度測量標(biāo)稱精度±0.1℃,實際計量結(jié)果-0.02℃-+0.06℃;材料溫度測量標(biāo)稱精度±0.1℃,實際計量結(jié)果+0.01℃-+0.06℃;大氣壓力測量標(biāo)稱精度±100Pa,實際計量結(jié)果+40-+66.7Pa;環(huán)境濕度測量精度±5%。為激光干涉儀的環(huán)境補(bǔ)償算法提供精準(zhǔn)的環(huán)境參數(shù)變化。
          高測量精度
    線性定位測量標(biāo)稱精度±0.5um/m(±0.5ppm),實際計量結(jié)果+0.08-+0.47um/m,高測量精度使激光干涉儀可以作為高精度的校準(zhǔn)設(shè)備。
  • 04 產(chǎn)品特點(diǎn)1

    高測量速度;4m/s的測量速度,滿足幾乎所有的測量應(yīng)用。
    快速啟動:約6分鐘的啟動預(yù)熱時間,便于測量現(xiàn)場的快速使用。
    長測量距離:長達(dá)20m的測量能力,滿足大多數(shù)的測量要求。
  • 05 產(chǎn)品特點(diǎn)2

    高測量分辨率:可選的測量分辨率,1nm。
    觸發(fā)式測量:適合在待測機(jī)器移動時記錄測量值,測量效率高。
    多種國際分析標(biāo)準(zhǔn)供選擇:方便用戶選擇自己需要的分析標(biāo)準(zhǔn),進(jìn)行多種分析。
  • 06 核心組件(激光頭)

    激光的穩(wěn)頻,發(fā)射接收及相關(guān)后續(xù)處理;環(huán)境傳感器數(shù)據(jù)的接收,上位機(jī)軟件的交互。
  • 07 核心組件(環(huán)境傳感器)

    用于測量環(huán)境溫度,材料溫度,環(huán)境濕度及大氣壓力;測量得到的環(huán)境數(shù)據(jù)用于干涉儀的精密補(bǔ)償。
  • 08 核心組件(測量鏡組)

    1、線性鏡組:用于進(jìn)行線性測量的光學(xué)套件;
    2、角度鏡組:用于進(jìn)行角度及旋轉(zhuǎn)測量的光學(xué)套件。
  •  

    09 相關(guān)組件

參數(shù)

PARAMETER

LM-20激光干涉儀技術(shù)參數(shù)表
性能參數(shù)光學(xué)參數(shù)
激光頻率穩(wěn)定度    ±0.05ppm激光功率               ≤1mw
線性定位精度        ±0.05um/m±0.05ppm)激光對準(zhǔn)范圍       ±2°
分辨率                   1nm光斑直徑               6mm
測量速度                ≤4m/s激光穩(wěn)定時間       約6min
測量距離                ≤20m 


環(huán)境傳感器組件參數(shù)表
名稱參數(shù)
環(huán)境傳感器組件         內(nèi)部傳感器1個空氣濕度傳感器     1個空氣壓力傳感器
                                 外部傳感器1個空氣濕度傳感器     1-3個材料溫度傳感器
接口專用線纜直接連接激光干涉儀
供電               激光干涉儀供電
精度參數(shù)及范圍測量范圍測量精度
環(huán)境溫度傳感器0℃-50℃±0.1℃
材料溫度傳感器0℃-50℃±0.1℃
大氣壓力傳感器60KPa-120KPa±100pa


附件參數(shù)表
規(guī)格參數(shù)
便攜箱尺寸便攜箱尺寸 559 x 351 x 229 mm
系統(tǒng)重量12-18kg
三腳架折疊后尺寸590mm
三腳架工作高度范圍350-1650mm


線性測量
規(guī)格公制英制
線性測量長度范圍20m800 in
測量精度                       ±0.5um/m(±0.5ppm)
分辨率0.001um0.1uin


角度測量
規(guī)格公制英制
軸向量程15 m590 in
角度測量范圍±175mm/m±10°
精度±0.002A±0.5±0.1M微弧度
±0.0002A±0.5±0.1M微弧度
±0.002A±0.1±0.007F角秒
±0.0002A±0.1±0.007F角秒
分辨率0.1um/m0.01角秒
溫度范圍:20℃±5℃
A=顯示的角度度數(shù);M=以米來計的測量距離;F以英尺來計的測量距離


旋轉(zhuǎn)測量
規(guī)格公制英制
角度目標(biāo)量程                          0-360°
測量精度±5um/m±1角秒
軸轉(zhuǎn)速                          2rpm
方向                          任意

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