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詳細(xì)摘要： ABL1000氣浮平臺1專為高性能校準(zhǔn)和裝配應(yīng)用設(shè)計2分辨率達(dá)2nm的直線編碼器反饋3閉環(huán)分辨率可達(dá)1nm（使用A3200控制器）4全預(yù)加負(fù)載氣浮導(dǎo)軌（...

詳細(xì)摘要： ABL3600氣浮平臺1專為掃描顯微鏡/掩模/晶片檢測*應(yīng)用設(shè)計2雙軸,大孔,開放式結(jié)構(gòu)3非接觸直線編碼器反饋,精度高4雙直線電機(jī)驅(qū)動XY軸5所有...

詳細(xì)摘要： ABL8000氣浮平臺1專為有效負(fù)載大,負(fù)載重心偏離機(jī)架中心線的應(yīng)用設(shè)計2十字交叉結(jié)構(gòu),剛性穩(wěn)定性引人注目,幾何特性*3所有軸全預(yù)加負(fù)載氣浮導(dǎo)軌（空氣軸承...

詳細(xì)摘要： ABL9000氣浮平臺1世上z高性能的氣浮平臺,適用于晶片,平板顯示,光學(xué)檢測和加工等要求苛刻的場合2所有軸全預(yù)加負(fù)載氣浮導(dǎo)軌（空氣軸承）3行程達(dá)1.2米...

詳細(xì)摘要： AHL9000直線電機(jī)平臺1專為晶片檢測，平板顯示加工和光學(xué)檢測及制造應(yīng)用設(shè)計2掃描軸是空氣軸承，步進(jìn)軸是機(jī)械軸承3行程達(dá)1.2米X1.2米4雙直線電機(jī)...

詳細(xì)摘要： ABG10000氣浮平臺1氣浮導(dǎo)軌實現(xiàn)超平滑運(yùn)動2所有軸都預(yù)加載荷3下面軸采用雙無刷直線伺服電機(jī)驅(qū)動3行程達(dá)1mx1m4非接觸直線編碼器（光柵...

詳細(xì)摘要： FiberCouple 130平臺1同一條導(dǎo)軌上兩個運(yùn)動平臺上2獨(dú)立或并列運(yùn)動32.5nm分辨率4非接觸直線電機(jī)驅(qū)動5交鑰匙的配套驅(qū)動和控制系統(tǒng)6適...

詳細(xì)摘要： VascuLathe ACS/ASR1.直線平臺與旋轉(zhuǎn)平臺的高度集成化2.ER筒夾系統(tǒng)使材料箝位自動化3.可選夾緊裝置夾緊管4*的控制系統(tǒng)結(jié)構(gòu)5.單或雙主軸...

詳細(xì)摘要： LaserTurn1.直線平臺與旋轉(zhuǎn)平臺的高度集成化2.氣動3爪卡盤或ER筒夾3.較大的通孔可以使產(chǎn)品通過4.可選擇在前后加工的平臺5.直接驅(qū)動直線和旋轉(zhuǎn)電機(jī)技...