XD激光干涉儀技術(shù)綜述：

1D激光主要可以測(cè)量定位誤差

3D激光可以測(cè)量定位誤差、直線度誤差（雙向）

5D/6D激光可以測(cè)量定位誤差、直線度誤差（雙向）、偏擺角、俯仰角和滾動(dòng)角

主要特點(diǎn)

• 同時(shí)測(cè)量線性定位誤差、直線度誤差（雙軸）、偏擺角、俯仰角和滾動(dòng)角
• 設(shè)計(jì)用于安裝在機(jī)床主軸上的5D/6D傳感器
• 可選的無(wú)線遙控傳感器zui長(zhǎng)的控制距離可到25米
• 可測(cè)量速度、加速度、振動(dòng)等參數(shù)，并評(píng)估機(jī)床動(dòng)態(tài)特性。
• 設(shè)計(jì)緊湊、體積小，測(cè)量機(jī)床時(shí)不需三角架
• 集成干涉鏡與激光器于一體，簡(jiǎn)化了調(diào)整步驟，減少了調(diào)整時(shí)間