當前位置：大族激光科技產業(yè)集團股份有限公司>>大族激光-等離子清洗/除膠>> 晶圓等離子清洗機（等離子灰化/去光刻膠/聚合物剝離/預處理/介電質刻蝕/晶圓凸點/有機污染去除/晶圓減?。?/p>
| 參 考 價 | 面議 |
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更新時間：2021-12-01 14:04:45瀏覽次數(shù)：1098次
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在線式自動真空等離子/進口等離子/攝像頭模組/芯片支架/芯片框架
線性等離子清洗機（低溫等離子清洗機 寬幅氮氣等離子 寬幅plasma
功能：
可清洗晶圓表面的顆粒、有機物、金屬雜質、氧化物
特點：
1)相較于真空等離子，可以在常壓下工作
2)工作效率遠高于真空等離子
3)氬氣等離子輝光為低溫，不會破壞晶圓
| 序號 | 項目 | 規(guī)格參數(shù) |
| 1 | 電源電壓 | 220（±10%）VAC，50/60Hz |
| 2 | 電源需求 | 220VAC/10A以上， |
| 3 | 工作頻率 | 13.65MHz |
| 4 | 設備功率 | <3.2KW（依實際為準） |
| 5 | 氣源要求 | 根據(jù)產品選AR，N2，O2等氣體 |
| 6 | 壓縮空氣 | ≥0.3MPa（3kg/cm2） |
| 7 | 主機尺寸 | 1260(L)x600(W)x1980(H)mm |
| 8 | 等離子頭尺寸 | 400(L)x80(W)x60(H)mm |
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