當前在電液伺服閥研制領(lǐng)域的新型材料運用，主要是以壓電元件、超磁致伸縮材料及形狀記憶合金等為基礎(chǔ)的轉(zhuǎn)換器研制開發(fā)。它們各具有其自己的優(yōu)良特性。

    壓電元件  

    壓電元件的特點是“壓電效應”：在一定的電場作用下會產(chǎn)生外形尺寸的變化，在一定范圍內(nèi)，形變與電場強度成正比。壓電元件的主要材料為壓電陶瓷（PZT）、電致伸縮材料（PMN）等。比較典型的壓電陶瓷材料有日本TOKIN公司的疊堆型壓電伸縮陶瓷等。PZT直動式伺服閥的原理是：在閥芯兩端通過鋼球分別與兩塊多層壓電元件相連。通過壓電效應，使壓電材料產(chǎn)生伸縮驅(qū)動閥芯移動。實現(xiàn)電-機械轉(zhuǎn)換。PMN噴嘴擋板式伺服閥則在噴嘴處設(shè)置一與壓電疊堆固定連接的擋板，由壓電疊堆的伸、縮實現(xiàn)擋板與噴嘴間的間隙增減，使閥芯兩端產(chǎn)生壓差推動閥芯移動。目前壓電式電-機械轉(zhuǎn)換器的研制比較成熟并已得到較廣泛的應用。它具有頻率響應快的特點，伺服閥頻寬甚至能達到上千赫茲，但亦有滯環(huán)大、易漂移等缺點，制約了壓電元件在電液伺服閥上的進一步應用。  

   超磁致伸縮材料超磁致伸縮材料（GMM）與傳統(tǒng)的磁致伸縮材料相比，在磁場的作用下能產(chǎn)生大得多的長度或體積變化。利用GMM轉(zhuǎn)換器研制的直動型伺服閥是把GMM轉(zhuǎn)換器與閥芯相連，通過控制驅(qū)動線圈的電流，驅(qū)動GMM的伸縮，帶動閥芯產(chǎn)生位移從而控制伺服閥輸出流量。該閥與傳統(tǒng)伺服閥相比不僅有頻率響應高的特點，而且具有精度高、結(jié)構(gòu)緊湊的優(yōu)點。目前，在GMM的研制及應用方面，美國、瑞典和日本等國處于水平。國內(nèi)浙江大學利用GMM技術(shù)對氣動噴嘴擋板閥和內(nèi)燃機燃料噴射系統(tǒng)的高速強力電磁閥，進行了結(jié)構(gòu)設(shè)計和特性研究。從目前情況來看GMM材料與壓電材料和傳統(tǒng)磁致伸縮材料相比，具有應變大、能量密度高、響應速度快、輸出力大等特點。世界各國對GMM電-機械轉(zhuǎn)換器及相關(guān)的技術(shù)研究相當重視，GMM技術(shù)水平快速發(fā)展，已由實驗室研制階段逐步進入市場開發(fā)階段。今后還需解決GMM的熱變形、磁晶各向異性、材料腐蝕性及制造工藝、參數(shù)匹配等方面的問題，以利于在高科技領(lǐng)域得到廣泛運用。  

    形狀記憶合金形狀記憶合金（SMA）的特點是具有形狀記憶效應。將其在高溫下定型后，冷卻到低溫狀態(tài)，對其施加外力。一般金屬在超過其彈性變形后會發(fā)生*變形，而SMA卻在將其加熱到某一溫度之上后，會恢復其原來高溫下的形狀。利用其特性研制的伺服閥是在閥芯兩端加一組由形狀記憶合金繞制的SMA執(zhí)行器，通過加熱和冷卻的方法來驅(qū)動SMA執(zhí)行器，使閥芯兩端的形狀記憶合金伸長或收縮，驅(qū)動閥芯作用移動，同時加入位置反饋來提高伺服閥的控制性能。從該閥的情況來看，SMA雖變形量大，但其響應速度較慢，且變形不連續(xù)，也限制了其應用范圍。  

    與傳統(tǒng)伺服閥相比，采用新型材料的電-機械轉(zhuǎn)換器研制的伺服閥，普遍具有高頻響、高精度、結(jié)構(gòu)緊湊的優(yōu)點。雖然目前還各自呈在某些關(guān)鍵技術(shù)需要解決，但新型功能材料的應用和發(fā)展，給電液伺服閥的技術(shù)發(fā)展發(fā)展提供了新的途徑。  

    目前電子化、數(shù)字化技術(shù)在電液伺服閥技術(shù)上的運用主要有兩種方式：其一，在電液伺服閥模擬控制元器件上加入D/A轉(zhuǎn)換裝置來實現(xiàn)其數(shù)字控制。隨著微電子技術(shù)的發(fā)展，可把控制元器件安裝在閥體內(nèi)部，通過計算機程序來控制閥的性能，實現(xiàn)數(shù)字化補償?shù)裙δ?。但存在模擬電路容易產(chǎn)生零漂、溫漂，需加D/A轉(zhuǎn)換接口等問題。其二，為直動式數(shù)字控制閥。通過用步進電機驅(qū)動閥芯，將輸入信號轉(zhuǎn)化成電機的步進信號來控制伺服閥的流量輸出。該閥具有結(jié)構(gòu)緊湊、速度及位置開環(huán)可控及可直接數(shù)字控制等優(yōu)點，被廣泛使用。但在實時性控制要求較高的場合，如按常規(guī)的步進方法，無法兼顧量化精度及響應速度的要求。浙江工業(yè)大學采用了連續(xù)跟蹤控制的辦法，消除了兩者之間的矛盾，獲得了良好的動態(tài)特性。此外還有通過直流力矩電機直接驅(qū)動閥芯來實現(xiàn)數(shù)字控制等多種控制方式或伺服閥結(jié)構(gòu)改變等方法來形成眾多的數(shù)字化伺服閥產(chǎn)品。  

    隨著各項技術(shù)水平的發(fā)展，通過采用新型的傳感器和計算機技術(shù)研制出機械、電子、傳感器及計算機自我管理（故障診斷、故障排除）為一體的智能化新型伺服閥。該類伺服閥可按照系統(tǒng)的需要來確定控制目標：速度、位置、加速度、力或壓力。同一臺伺服閥可以根據(jù)控制要求設(shè)置成流量控制伺服閥、壓力控制伺服閥或流量/壓力復合控制伺服閥。并且伺服閥的控制參數(shù)，如流量增益、流量增益特性、零點等都可以根據(jù)控制性能*化原則進行設(shè)置。伺服閥自身的診斷信息、關(guān)鍵控制參數(shù)（包括工作環(huán)境參數(shù)和伺服閥內(nèi)部參數(shù)）可以及時反饋給主控制器；可以遠距離對伺服閥進行監(jiān)控、診斷和遙控。在主機調(diào)試期間，可以通過總線端口下載或直接由上位機設(shè)置伺服閥的控制參數(shù)，使伺服閥與控制系統(tǒng)達到*匹配，優(yōu)化控制性能。而伺服閥控制參數(shù)的下載和更新，甚至在主機運轉(zhuǎn)時也能進行。而在伺服閥與控制系統(tǒng)相匹配的技術(shù)應用發(fā)展中，嵌入式技術(shù)對于伺服閥已經(jīng)成為現(xiàn)實。按照嵌入式系統(tǒng)應定義為：“嵌入到對像體系中的計算機系統(tǒng)”。“嵌入性”、“性”與“計算機系統(tǒng)”是嵌入式系統(tǒng)的三個基本要素。它是在傳統(tǒng)的伺服閥中嵌入的微處理芯片和相應的控制系統(tǒng)，針對客戶的具體應用要求而構(gòu)建成具有*控制參數(shù)的伺服閥并由閥自身的控制系統(tǒng)完成相應的控制任務（如各控制軸同步控制），再嵌入到整個的大控制系統(tǒng)中去。從目前的技術(shù)發(fā)展和控制系統(tǒng)對伺服閥的要求看，伺服閥的自診斷和自檢測功能應該有更大的發(fā)展。