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超精加工是用細(xì)粒度的油石條以較低的壓力和切削速度對(duì)工件表面進(jìn)行光整加工，加工中有3種運(yùn)動(dòng):工件低速旋轉(zhuǎn)運(yùn)動(dòng)：超精頭軸向進(jìn)給運(yùn)動(dòng)：油石條往復(fù)振動(dòng)。超精加工大致可分為4個(gè)階段:
1.強(qiáng)力切削階段
超精加工時(shí)油石條磨粒細(xì)，壓力小，工件與油石條之間的潤(rùn)滑油易形成油膜，但開始時(shí)，由于工件表面粗糙，少數(shù)凸峰單位面積壓力很大，破壞了油膜，故切削作用強(qiáng)烈。
2.正常切削階段
當(dāng)少數(shù)凸峰磨平后，接觸面積增加，單位面積壓力降低，致使切削作用減弱而進(jìn)入正常切削階段。
3.微弱切削階段
隨著接觸面積逐漸增大，單位面積壓力更小，切削作用微弱，細(xì)小的切削形成氧化物嵌入油石條的空隙中，因而油石條產(chǎn)生光滑表面，具有摩擦拋光作用而使工件表面拋光。
4.自動(dòng)停止切削階段
工件磨平后，單位壓力很小，工件與油石條之間又形成油膜，不再接觸，故切削作用停止。