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當(dāng)前位置：成都漢普升科技有限公司>>電阻電子束沉積>> 成都真空設(shè)備廠家 半導(dǎo)體制程PVD沉積臺(tái)
產(chǎn)品型號(hào)
品 牌其他品牌
廠商性質(zhì)生產(chǎn)商
所 在 地成都市
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更新時(shí)間：2023-11-06 16:26:38瀏覽次數(shù)：324次
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成都真空設(shè)備廠家 Research-紅外蒸發(fā)鍍膜機(jī)
成都真空廠家 surpass系列精密光學(xué)鍍膜機(jī)
成都真空廠家 Research電子束蒸發(fā)鍍膜機(jī)
成都真空廠家 Research熱蒸發(fā)真空鍍膜機(jī)
成都真空廠家 surpass工業(yè)級(jí)電阻電子束蒸發(fā)
●本裝置使用電阻蒸發(fā)、電子束蒸發(fā)和離子源輔助清洗、輔助沉積和原位刻蝕進(jìn)行復(fù)合，用于制備特種薄膜，薄膜具有均勻性、附著力、抗損傷、低顆粒物污染等特點(diǎn)，是半導(dǎo)體制程中關(guān)鍵工序的核心裝備，其技術(shù)長(zhǎng)期被美國(guó)、日本等國(guó)技術(shù)所壟斷，屬于國(guó)內(nèi)卡脖子裝備，也是制約國(guó)內(nèi)半導(dǎo)體領(lǐng)域自主可控的關(guān)鍵設(shè)備，該設(shè)備的技術(shù)突破和產(chǎn)業(yè)化對(duì)國(guó)內(nèi)半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)發(fā)展具有積極意義。
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