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準(zhǔn)源激光技術(shù)河北有限公司
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更新時間:2023-12-01 17:12:14瀏覽次數(shù):1269次
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專業(yè)的全自動芯片PAD管腳清洗設(shè)備,穩(wěn)定性好、加工質(zhì)量好、成品率高、加工效率特別快。
Ex-light是新一代準(zhǔn)分子激光清洗系統(tǒng)。通過光束傳導(dǎo)、勻化、投影技術(shù),使激光均勻照射到材料表面,對材料進(jìn)行紫外激光加工。該系統(tǒng)結(jié)構(gòu)設(shè)計緊湊,集成度高,光路穩(wěn)定實用,光斑勻化效好,傳輸效率高,增強樣品表面激光能量密度,提高加工質(zhì)量和效率。
激光清洗系統(tǒng)
應(yīng)用行業(yè):
1、微電子行業(yè):晶圓面板激光清洗、電路板清洗;
2、OLED微型顯示器芯片:芯片管腳PAD焊線前激光清洗、液晶顯示器清洗;
3、文物藝術(shù)品保護(hù):無損還原;
4、汽車產(chǎn)業(yè):各種焊接處焊后激光清洗;
5、其它:材料表面各種雜質(zhì)、氧化物、微小顆粒物、油污去除。
技術(shù)特點:
1、靜態(tài)氣體壽命 >30天;
2、激光器壽命 >20億次脈沖;
3、多種光路方案,可定制;
4、反射/透射照明;
5、X,Y位移臺安裝在剛性花崗巖基座上,線性驅(qū)動,1μm分辨率 ;
6、電動焦點控制(沿Z軸);
7、配有同軸和離軸相機(jī),模式識別軟件可選 ;
8、快速響應(yīng)時間,易于操作的軟件;
9、同軸機(jī)器視覺示意圖,所見即所得。
光束傳播特點:
1、能量控制 10-80% ;
2、投影縮倍4x-20x ,可定制;
3、工作距離>25mm;
4、目標(biāo)能量密度 0.25-10J/cm2 ;
5、同軸顯微成像;
6、光斑勻化系統(tǒng)。
1、圖形化加工路徑顯示;
2、晶圓自動聚焦、自動對位;
3、大視野晶圓導(dǎo)航圖;
4、激光參數(shù)設(shè)定及調(diào)試;
5、加工進(jìn)程控制、中斷自動恢復(fù);
6、芯片參數(shù)導(dǎo)入;
7、壞點剔除功能;
激光清洗系統(tǒng)參數(shù):
波長 | 193nm /248nm |
脈沖寬度 | 5-10 ns |
單光斑加工面積 | >400um x400um |
光學(xué)分辨率 | 1um |
能量密度 | >10J/cm2 |
脈沖穩(wěn)定性 | ≤2% |
脈沖重復(fù)頻率 | 1-1000Hz |
系統(tǒng)框架 | 大理石光學(xué)基座以及金屬框架結(jié)構(gòu) |
機(jī)器視覺 | 同軸照明/觀察,所見即所得 |
投影物鏡 | 紫外超長工作距離物鏡 |
掩膜版位移臺 | 100mm x100mm,定位精度:±1um |
Z軸電動平臺 | 50mm行程,±1μm重復(fù)定位精度 |
衰減器 | 電動可調(diào)、調(diào)節(jié)范圍15%-80% |
控制軟件 | LPCPro3D自動加工處理軟件 |
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主營產(chǎn)品:經(jīng)營范圍包括電子工業(yè)專用設(shè)備制造、研發(fā)、銷售;飛秒激光器生產(chǎn)、研發(fā)、銷售;光電技術(shù)推廣;軟件研發(fā)、銷售;光學(xué)、機(jī)械、電子產(chǎn)品研發(fā)、銷售;貨物進(jìn)出口;技術(shù)進(jìn)出口;科技成果轉(zhuǎn)化服務(wù);科技交流及推廣服務(wù);激光器維修;工藝品(不含文物)銷售(依法須經(jīng)批準(zhǔn)的項目,經(jīng)相關(guān)部門批準(zhǔn)后方可開展經(jīng)營活動)*
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