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詳細介紹
一、主要用途
主要用于藍寶石、藍玻璃、陶瓷片、晶體、半導體及其他硬脆材料的高精度雙面研磨拋光，尤其適用于超薄工件的加工。
二、產(chǎn)品特點
1、壓力精密控制：PLC+PT+電氣比例閥+低摩擦氣缸實現(xiàn)高精度壓力閉環(huán)控制;
2、上盤減震裝置：動靜態(tài)均適用的減振彈性連接方式;
3、精密傳動系統(tǒng)高精度小齒隙全齒輪傳動;
4、下盤支撐：高精度平面流體軸承支撐;
5、銷齒傳動內(nèi)外齒采用銷齒傳動，延長載體使用壽命維護便捷;
6、傳動系統(tǒng)：三電機同步拖動，上盤、下盤和齒圈、太陽輪(即可正轉(zhuǎn)，也可反轉(zhuǎn))轉(zhuǎn)速可任意設(shè)足，縣有配方功能
三、技術(shù)參數(shù)
| 序號 | 項目 | 規(guī)格參數(shù) | ||
| 1 | 下盤 | 尺寸 | Φ952mm×Φ568mm×50mm(研磨) | |
| Φ960mm×Φ560mm×50mm(拋光) | ||||
| 轉(zhuǎn)速 | 3-45 rpm | |||
| 驅(qū)動電機 | 7.5kW AC380V 50Hz 1440rpm | |||
| 2 | 上盤 | 尺寸 | Φ952mm×Φ568mm×50mm(研磨) | |
| Φ960mm×Φ560mm×50mm(拋光) | ||||
| 轉(zhuǎn)速 | 3-30 rpm | |||
| 驅(qū)動電機 | 4.0kW AC380V 50Hz 1440rpm | |||
| 3 | 游星輪 | 參數(shù) | 節(jié)距：15.7 Z=46 | |
| 數(shù)量 | 9個 | |||
| 4 | 太陽輪 | 轉(zhuǎn)速 | 0-20 rpm | |
| 驅(qū)動電機 | 1.5kW AC380V 50Hz 1440rpm | |||
| 5 | 精度指標 | 上、下盤平面度 | ≤0.015mm | |
| 下盤端跳 | ≤0.02mm | |||
| 6 | 加工范圍 | 加工尺寸 | Φ180mm | |
| 最小加工厚度 | 0.15mm(≤2"片） | |||
| 整盤承載量 | 8×9=72片（2" 圓片） | |||
| 7 | 水源 | 純水或自來水 | ||
| 8 | 電源 | 功率 | 14kW AC380V 50Hz | |
| 線纜規(guī)格 | 三相五線刮．3×4mm2+2×2.5mm2 | |||
| 9 | 氣源 | 壓力 | 壓縮空氣源0.5-0.6Mpa | |
| 接管口徑 | 接口Φ10mm（外徑） | |||
| 10 | 外形尺寸 | 長×寬×高：1650mm×1300mm×2500mm | ||
| 11 | 重量 | 約3000Kg | ||
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