序號

指標(biāo)名稱

指標(biāo)參數(shù)

1

描述

一站式振動不敏感動態(tài)泰曼格林干涉儀

2

采集模式

單個相機(jī)，高速光學(xué)相位傳感器

3

激光源

穩(wěn)定632.8nmHeNe激光器

4

空腔長度

>100 m

5

偏振態(tài)

圓偏光

6

光瞳變焦范圍

±12.5 mm

7

光瞳放大率

固定，3倍數(shù)字變焦

8

條紋襯度

用戶可調(diào)節(jié)的反射率從1-99%

9

相機(jī)

2448*2048 Pixel,12bit

10

計算機(jī)系統(tǒng)

雙核2.4GHz處理器4GB內(nèi)存，320GB硬盤CDRW，DVDRW，22英寸液晶顯示器，鍵盤，鼠標(biāo)

11

操作系統(tǒng)

Windows 10

12

系統(tǒng)軟件

分析軟件與用戶手冊瞬時移相位數(shù)據(jù)采集參考生成，數(shù)據(jù)平均，峰谷值（PV值）、標(biāo)準(zhǔn)偏差（RMS）、等高圖、三維立體圖、干涉條紋圖、X-Y剖面圖、MTF光學(xué)傳遞函數(shù)、PSF點(diǎn)擴(kuò)散函數(shù)、波前梯度等。升級-保修期間免費(fèi)

13

物理尺寸

測量頭：<19.5×16.2×220.00000000000003px

激光源：68x25x17.5cm

14

重量

測量頭：<4.2kg激光源：9.7kg

15

靜止熱耗散

干涉儀5W，源模塊22W

16

功率

<50W在220V交流儀器和電源模塊

<750W在220V交流下，帶計算機(jī)和顯示器

17

保修單

一年，現(xiàn)場系統(tǒng)安裝和操作人員培訓(xùn)

配件

18

球面鏡頭

F5,F12,F22

19

五維調(diào)整架

X、Y、Z、和傾斜度

20

擴(kuò)展精度包

均方根精度提高了2倍

系統(tǒng)性能

21

采集速度

＞10幀/秒 顯示 4幅干涉圖/幀，＞12幀/秒 數(shù)據(jù)采集帶后數(shù)據(jù)處理

22

最小曝光時間

30 µs

23

樣品反射率

1-99%

24

RMS重復(fù)性

0.001λ^*

25

RMS精度

0.002λ^**