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VASE高精度薄膜厚度量測(cè)儀

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更新時(shí)間：2022-06-08 14:33:10瀏覽次數(shù)：595

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J.A.WoollamVASE是一款高精度多角度橢圓偏光儀，V-VASE系統(tǒng)非接觸式膜厚量測(cè)，垂直擺放樣品，移動(dòng)精度高，量測(cè)角度從15-90度，可進(jìn)一步量測(cè)樣品穿透率

詳細(xì)介紹

J.A.Woollam
J.A.Woollam VASE是一款高精度多角度橢圓偏光儀，V-VASE系統(tǒng)非接觸式膜厚量測(cè)，垂直擺放樣品，移動(dòng)精度高，量測(cè)角度從15-90度，可進(jìn)一步量測(cè)樣品穿透率。
VASE高精度薄膜厚度量測(cè)儀特點(diǎn)
  • 測(cè)量靈活：帶有垂直樣品臺(tái)的V-VASE,可以適應(yīng)各類測(cè)量,包括反射、穿透、散射等。
  • 準(zhǔn)確的數(shù)據(jù)測(cè)量：VASE是結(jié)合自了動(dòng)相位延遲(AutoRetarder®)技術(shù)的旋轉(zhuǎn)檢偏(RAE)橢偏儀,測(cè)量精準(zhǔn)。
  • 高精度的波長(zhǎng)選擇：HS-190掃描式單色儀是為光譜橢偏術(shù)專門設(shè)計(jì)的。在自動(dòng)控制波長(zhǎng)選擇及光譜分辨率時(shí),它可以優(yōu)化速度、波長(zhǎng)準(zhǔn)確性及光輸出。
VASE高精度薄膜厚度量測(cè)儀 應(yīng)用
  • VCSEL量測(cè)
VASE高精度薄膜厚度量測(cè)儀
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