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漢鼎超聲波 | 半導(dǎo)體玻璃 : 微鉆孔加工

時間:2025-3-27閱讀:10
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【漢鼎超聲波】玻璃微鉆孔加工:超聲波效益


?? 加工效率 - 提升9倍
?? 鉆孔質(zhì)量 - (出孔)提升10倍,脆裂邊減小至22µm




【漢鼎超聲波】玻璃微鉆孔加工:加工痛點


鈉鈣玻璃是應(yīng)用廣泛的玻璃種類,主要由二氧化硅(Silica)、碳酸鈉(Soda)和石灰(Lime)組成。

盡管價格低廉且具備良好的回收特性,其高CTE和硬脆性特質(zhì)為CNC加工中的微鉆孔加工帶來了較大難度。在加工過程中,切削阻力、推力和扭矩若控制不當(dāng),易造成大范圍的脆裂邊和次表面裂紋,直接影響工件質(zhì)量及產(chǎn)品良率。




【漢鼎超聲波】玻璃微鉆孔加工:加工信息


 玻璃微鉆孔加工:加工信息          
 材料  鈉鈣玻璃(Soda-lime glass)
 特征  Φ0.3 x 1mm (通孔)
 
*徑深比 3x
 加工工藝  微鉆孔  
 超聲波刀柄        HSKE40-R01-06
 機臺轉(zhuǎn)速  11,000 ~ 13,000 rpm
 刀具選用  Φ0.3mm - CVD鉆頭














漢鼎超聲波 | 半導(dǎo)體玻璃 : 微鉆孔加工
(圖1. 鈉鈣玻璃微鉆孔加工, 使用漢鼎HSK-E40超聲波加工模組)


漢鼎超聲波 | 半導(dǎo)體玻璃 : 微鉆孔加工
(圖2. 漢鼎超聲波技術(shù)輔助鈉鈣玻璃微鉆孔加工)



【漢鼎超聲波】玻璃微鉆孔加工:測試目標


測試目標是通過HSK-E40超聲波加工模組,在提升加工效率的同時,降低鉆孔脆裂邊尺寸。




【漢鼎超聲波】玻璃微鉆孔加工:加工結(jié)果

玻璃微鉆孔加工:加工效率

漢鼎超聲波 | 半導(dǎo)體玻璃 : 微鉆孔加工
(圖3. 使用漢鼎超聲波輔助鈉鈣玻璃微鉆孔加工, 加工效率提升9倍)

  • 漢鼎超聲波技術(shù)通過減少引導(dǎo)鉆(Pilot Drilling)工序,并以直鉆(Direct Drilling)取代傳統(tǒng)啄鉆(Peck Drilling),在加工效率方面實現(xiàn)了顯著提升。



漢鼎超聲波 | 半導(dǎo)體玻璃 : 微鉆孔加工
(圖4. 使用漢鼎超聲波技術(shù), 即使未使用引導(dǎo)鉆, 脆裂邊尺寸仍非常小)

  • 在相同的機臺轉(zhuǎn)速(12,000 rpm)下,通過使用超聲波加工技術(shù),進給率提高至原參數(shù)的3倍,整體加工時間顯著縮短,加工效率提升了9倍。




玻璃微鉆孔加工:鉆孔質(zhì)量

漢鼎超聲波 | 半導(dǎo)體玻璃 : 微鉆孔加工
(圖5. 使用漢鼎超聲波輔助鈉鈣玻璃微鉆孔加工, 入孔處脆裂邊尺寸減小3.7倍)


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(圖6. 使用漢鼎超聲波輔助鈉鈣玻璃微鉆孔加工, 出孔處脆裂邊尺寸減小10倍)


超聲波的高頻微振動有效降低切削阻力、推力及扭矩,脆裂邊尺寸明顯減小。測試結(jié)果顯示:

  • 入孔處脆裂邊尺寸減少3.7倍。

  • 出孔處脆裂邊尺寸減少10倍,達到22µm的表現(xiàn)。



漢鼎超聲波 | 半導(dǎo)體玻璃 : 微鉆孔加工
(圖7. 漢鼎超聲波 vs. 無超聲波:入孔處形貌對比)


漢鼎超聲波 | 半導(dǎo)體玻璃 : 微鉆孔加工
(圖8. 漢鼎超聲波 vs. 無超聲波:出孔處形貌對比)




【漢鼎超聲波】玻璃微鉆孔加工:產(chǎn)業(yè)應(yīng)用


玻璃微孔特征廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)汽車產(chǎn)業(yè),尤其是在半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)中需要運用TGV(Through Glass Via)技術(shù)的RF-MEMS開關(guān)以及圖像傳感器等產(chǎn)品中,還包括汽車產(chǎn)業(yè)的壓力傳感器、加速度傳感器、陀螺儀等設(shè)備中。


鈉鈣玻璃(Soda-Lime Glass)在眾多行業(yè)中具有多樣化的應(yīng)用,其價格相較其他玻璃種類(如硼硅酸鹽玻璃Borosilicate Glass或光學(xué)玻璃Optical Glass)更加低廉且易于獲取。

鈉鈣玻璃中所含的碳酸鈉(Soda)和石灰(Lime)使其可以多次軟化且在循環(huán)利用過程中不喪失材料質(zhì)量,具備良好的回收特性。

然而,鈉鈣玻璃的高CTE(熱膨脹系數(shù))使其耐熱沖擊性能較差(Thermal Shock),溫度劇烈變化時易破裂。其莫氏硬度約為6-7,雖不算特別高,但其硬脆性特性為CNC加工帶來了挑戰(zhàn),尤其是微鉆孔加工時若切削阻力、推力或扭矩控制不當(dāng),容易導(dǎo)致嚴重的脆裂邊(Edge-cracks)和次表面裂紋(Subsurface Damage)。


漢鼎智慧科技的超聲波加工模組為新材料加工帶來了全新解決方案!漢鼎的超聲波輔助加工技術(shù)大幅提升加工效率,減少整體加工時間,同時顯著降低脆裂邊尺寸。不僅滿足客戶的標準需求,更為客戶創(chuàng)造多重價值!


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