【漢鼎超聲波】氧化鋁陶瓷（Aluminum Oxide，Al2O3）外型磨削加工：超聲波效益

（搭配漢鼎超聲波專用電鍍金剛石磨頭）

?? 加工效率 - 提升2倍
?? 工件質量 - 提升近3倍
?? 大幅減少刀具磨損 - 改善積屑問題

【漢鼎超聲波】氧化鋁陶瓷（Aluminum Oxide，Al2O3）外型磨削加工：加工痛點

氧化鋁陶瓷因其耐化學性和熱穩(wěn)定性，廣泛用于半導體制程作為關鍵零件材料。

然而，在進行磨削加工時，由于氧化鋁陶瓷的高硬脆性特性，加之排屑不暢，通常會面臨諸多挑戰(zhàn)，例如加工時間長、刀具壽命短等問題，導致投入成本高、生產效率低。

【漢鼎超聲波】氧化鋁陶瓷（Aluminum Oxide，Al2O3）外型磨削加工：加工信息

【新產品?。h鼎超聲波專用電鍍金剛石磨頭】

• - 漢鼎定制化電鍍磨頭

• - 搭配漢鼎超聲波輔助加工模組

• - 實現超聲波輔助磨削工藝效益

(圖1. 漢鼎最新開發(fā)的超聲波專用電鍍金剛石磨頭 - 產品規(guī)格)



(圖2. 漢鼎最新開發(fā)的超聲波專用電鍍金剛石磨頭 - 適用于氧化鋁陶瓷材料的磨削加工)



(圖3. 使用一般磨頭并開啟超聲波輔助加工，可能加劇刀具磨損情況)

(圖4. 使用漢鼎HSKE40超聲波加工模組, 搭配超聲波專用電鍍磨頭, 輔助氧化鋁陶瓷的外型磨削加工工件)



(圖5. 使用漢鼎HSKE40超聲波加工模組, 搭配超聲波專用電鍍磨頭, 輔助氧化鋁陶瓷的外型磨削加工)



(圖6. 使用漢鼎HSKE40超聲波加工模組, 搭配超聲波專用電鍍磨頭, 輔助氧化鋁陶瓷的外型磨削加工 - 外圓側磨工藝)



(圖7. 使用漢鼎HSKE40超聲波加工模組, 搭配超聲波專用電鍍磨頭, 輔助氧化鋁陶瓷的外型磨削加工 - 內圓底磨工藝)



(圖8. 使用漢鼎HSKE40超聲波加工模組, 搭配超聲波專用電鍍磨頭, 輔助氧化鋁陶瓷的外型磨削加工 - 繞孔工藝)



 

【漢鼎超聲波】氧化鋁陶瓷（Aluminum Oxide，Al2O3）外型磨削加工：測試目標

針對氧化鋁陶瓷（Aluminum Oxide，Al2O3）開展超聲波輔助外型磨削加工測試，旨在通過漢鼎開發(fā)的超聲波專用電鍍金剛石磨頭，在CNC設備上完成外圓側磨、內圓底磨及繞孔加工等工藝。測試目標是在保證工件質量的基礎上，提高加工效率并延長刀具使用壽命。




 

【漢鼎超聲波】氧化鋁陶瓷（Aluminum Oxide，Al2O3）外型磨削加工：加工結果

氧化鋁陶瓷（Aluminum Oxide，Al2O3）外型磨削加工：加工效率

(圖9. 使用漢鼎HSKE40超聲波加工模組, 搭配超聲波專用電鍍磨頭, 輔助氧化鋁陶瓷的外型磨削加工, 可提升2倍進給率)



(圖10. 使用漢鼎HSKE40超聲波加工模組, 搭配超聲波專用電鍍磨頭, 輔助氧化鋁陶瓷的外型磨削加工, 整體加工效率提升2倍)

 

• 通過漢鼎超聲波輔助加工，高頻微振動切削機制結合超聲波專用電鍍磨頭，有效排除加工中產生的陶瓷粉塵，降低磨削阻力。

• 在確保工件質量的同時，進給率提升至原來的2倍，加工時間從原先的8小時縮短至4小時，整體加工效率提高2倍。

氧化鋁陶瓷（Aluminum Oxide，Al2O3）外型磨削加工：工件質量

(圖11. 使用漢鼎HSKE40超聲波加工模組, 搭配超聲波專用電鍍磨頭, 輔助氧化鋁陶瓷的外型磨削加工, 可減少近3倍脆裂邊)



(圖12. 使用漢鼎HSKE40超聲波加工模組, 搭配超聲波專用電鍍磨頭, 輔助氧化鋁陶瓷的外型磨削加工, 工件質量提升近3倍)

 

• 超聲波輔助加工采用高頻微振動切削機制，結合專用電鍍磨頭，有效排除陶瓷粉塵，解決磨頭積屑和脫鉆等問題。

• 磨削阻力的降低和刀具磨損的大幅減少，使加工更穩(wěn)定，顯著減少脆裂邊的形成，工件質量提升近3倍。

氧化鋁陶瓷（Aluminum Oxide，Al2O3）外型磨削加工：刀具壽命

(圖13. 使用漢鼎HSKE40超聲波加工模組, 搭配超聲波專用電鍍磨頭, 輔助氧化鋁陶瓷的外型磨削加工, 有效改善積屑問題, 大幅減少刀具磨損)

 

• 通過漢鼎超聲波輔助加工，高頻微振動切削機制確保陶瓷粉塵的順利排除，磨頭的側刃和底刃積屑問題顯著改善。刀具在完成全部外型磨削后，磨損程度遠低于無超聲波加工，刀具仍可繼續(xù)使用。

• 優(yōu)化磨頭的積屑和脫鉆問題，不僅降低了磨削阻力，保證了工件質量和刀具的長效使用，還為進一步提升加工效率提供了空間。

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【漢鼎超聲波】氧化鋁陶瓷（Aluminum Oxide，Al2O3）外型磨削加工：產業(yè)應用

氧化鋁陶瓷（Aluminum Oxide，Al2O3）外型磨削特征廣泛應用于半導體產業(yè)，特別用于制程中關鍵零組件的材料，如氧化鋁陶瓷靜電吸盤（ESC，E-chuck，Electrostatic Chuck）。這類產品采用高密度多孔陶瓷層，確保晶圓在切割過程中吸附力分布均勻，并通過高精度加工處理，保持優(yōu)良的產品質量。


氧化鋁陶瓷因其耐化學性和熱穩(wěn)定性，廣泛應用于半導體制程中（如蝕刻、薄膜等），成為陶瓷靜電吸盤（ESC，E-chuck，Electrostatic Chuck）、陶瓷CEL、陶瓷噴嘴、噴頭等關鍵零件的理想材料。

其中，陶瓷靜電吸盤是半導體制程中的關鍵組件，用于晶圓切割過程中穩(wěn)固吸附晶圓。吸附力的均勻性對晶圓切割的穩(wěn)定性和良率有直接影響。


漢鼎智慧科技的超聲波加工模組為新材料加工提供了全新的解決方案。結合漢鼎開發(fā)的超聲波專用電鍍金剛石磨頭，不僅可以有效提升加工效率、節(jié)省整體加工時間，還能在確保良好、穩(wěn)定的工件質量的同時，大幅降低刀具磨損，延長刀具壽命，從而降低整體生產成本。不僅符合客戶高標準的需求，還能為客戶創(chuàng)造更多價值。




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