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ZYGO 3D 白光干涉輪廓儀，能夠以優(yōu)于納米級(jí)的分辨率，非接觸測(cè)量樣品表面形貌。白光輪廓儀廣泛應(yīng)用于光學(xué)，半導(dǎo)體，材料，精密機(jī)械等等領(lǐng)域，用于表面形貌紋理，微觀結(jié)構(gòu)分析。

 

    ZYGO 有三個(gè)型號(hào)標(biāo)準(zhǔn)白光干涉輪廓儀，Zegage，NewView，Nexview，它們?cè)O(shè)計(jì)理念各有不同，配合各類附件，能良好滿足各種場(chǎng)景，各類環(huán)境下的不同應(yīng)用需求。

 

ZYGO 白光輪廓儀的共有特點(diǎn)和優(yōu)勢(shì)：

 

·             ZYGO SureScan™大幅減小了環(huán)境振動(dòng)的影響；還可以降低高精度量測(cè)時(shí)的噪聲，提高超光滑表面的測(cè)試精度。

 

·             ZYGO SmartSetup™，自動(dòng)對(duì)焦樣品表面，自動(dòng)智能配置測(cè)試參數(shù)，使原來(lái)麻煩的“找條紋”，“選擇測(cè)試參數(shù)”過(guò)程，在一分鐘之內(nèi)，自動(dòng)完成

 

·             ZYGO全系列白光輪廓儀，都包括自動(dòng)防撞功能，”心細(xì)如發(fā)“，“一觸即止”，能*大程度保護(hù)樣品和設(shè)備的安全。

基于以上ZYGO共有的功能，每一款白光輪廓儀又有什么自己的特點(diǎn)呢？今日小Z就和各位親聊聊：

 

如何選擇ZYGO白光輪廓儀

 

ZeGage™系列

1.6K*1.2K像素，1X光學(xué)縮放，

SureScan™采樣；

可選手動(dòng)調(diào)整，或3軸（Z，XY平移）自動(dòng)調(diào)整樣品臺(tái)；

表面形貌重復(fù)性(STR);

ZeGage™Pro     3.5nm

ZeGage™Pro HR  0.15nm

 

ZeGage™桌面型光學(xué)輪廓儀,結(jié)構(gòu)緊湊，穩(wěn)定可靠。它采用一體化結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)，配合ZYGO SureScan™抗振采樣模式，可以無(wú)需氣浮抗振臺(tái)，直接置于桌面，在生產(chǎn)環(huán)境中量測(cè)。

 

·             ZeGage™ 系列有兩種型號(hào)，都具有較高性價(jià)比。ZeGage™Pro表面形貌重復(fù)性(STR)3.5nm，適用于精密機(jī)械，材料學(xué)，摩擦磨損等納米級(jí)測(cè)量；ZeGage™Pro HR表面形貌重復(fù)性(STR) 0.15nm，可以量測(cè)亞納米級(jí)超光滑表面。

 

·             ZeGage™可選增高架構(gòu)，用于測(cè)量更大尺寸的樣品；還可以選用3軸（Z，Tip/Tilt傾斜俯仰）自動(dòng)調(diào)整樣品臺(tái)，具有拼接測(cè)量及一定編程自動(dòng)化測(cè)量的能力。

 

Newview™9000

1.6K*1.2K，0.5X,1X, 2X 目鏡；

CSI, SureScan™, SmartPSI采樣；

可選手動(dòng)調(diào)整，或5軸（Z，XY平移，Tip/Tilt傾斜俯仰）自動(dòng)調(diào)整樣品臺(tái)；

手動(dòng)孔徑光闌，及視場(chǎng)光闌；

Newview 表面形貌重復(fù)性(STR) 0.08nm

 

Newview™9000是ZYGO應(yīng)用*廣的高性能光學(xué)輪廓儀，配合豐富的配置及附件，滿足多樣化應(yīng)用需求。

 

·             Newview™9000150um范圍使用壓電陶瓷閉環(huán)掃描，表面形貌重復(fù)性(STR) 0.08nm，可以滿足苛刻的超光滑表面測(cè)試需要。

 

·             Newview™9000光學(xué)系統(tǒng)包括孔徑光闌，及視場(chǎng)光闌；可優(yōu)化光學(xué)成像質(zhì)量，適用于不同樣品表面紋理和微結(jié)構(gòu)。

 

·             Newview™9000采用分立龍門架構(gòu)，可以通過(guò)標(biāo)準(zhǔn)墊塊附件，抬高測(cè)試頭，來(lái)測(cè)試超大超高樣品。

 

·             Newview™9000可選5維全自動(dòng)樣品臺(tái)，配合ZYGO腳本編程工具，自主開(kāi)發(fā)工業(yè)自動(dòng)化測(cè)試流程。

 

Nexview™  NX2 

 

1.6K*1.2K，0.5X,1X, 2X目鏡；

CSI, SureScan™, SmartPSI采樣；

標(biāo)配5軸（Z，XY平移，Tip/Tilt傾斜俯仰）自動(dòng)調(diào)整樣品臺(tái)；

全自動(dòng)孔徑光闌，及視場(chǎng)光闌調(diào)整；

Nexview™  NX2  表面形貌重復(fù)性(STR) 0.06nm

Ture Color樣品表面彩色3D形貌測(cè)量

 

Nexview™  NX2是ZYGO光學(xué)輪廓儀系列中，測(cè)試精度*高，功能*全，整機(jī)*自動(dòng)化的型號(hào)；NX2專為*挑戰(zhàn)應(yīng)用設(shè)計(jì)制造。

 

·             Nexview™ NX2 150um范圍使用壓電陶瓷閉環(huán)掃面，表面形貌重復(fù)性(STR) 0.06nm，是ZYGO光學(xué)性能，噪聲系數(shù)*優(yōu)的型號(hào)，可以滿足*苛刻的埃級(jí)超光滑表面測(cè)試需要。

 

·             Nexview™ NX2覆蓋了其它ZYGO白光輪廓儀的所有功能；此外還TureColor樣品表面彩色3D形貌測(cè)量能力。

 

·             Nexview™ NX2同樣采用分立龍門架構(gòu)，可以通過(guò)標(biāo)準(zhǔn)墊塊附件，抬高測(cè)試頭來(lái)測(cè)試超高樣品。

 

·             Nexview™ NX2實(shí)現(xiàn)了整機(jī)*自動(dòng)化，從塔臺(tái)，樣品臺(tái)，到光學(xué)系統(tǒng)光闌控制，全部軟件可編程；配合ZYGO腳本編程工具，Nexview™  NX2可以實(shí)現(xiàn)*自動(dòng)化測(cè)試。