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詳細(xì)介紹
液壓密封環(huán)雙面研磨機(jī)主要用途：
該機(jī)主要適用用各種大尺寸硅片及晶體材料的拋光。
液壓密封環(huán)雙面研磨機(jī)設(shè)備規(guī)格：
型號 | YM-18A | YM-24A | YM-36A | YM-48A |
拋光盤規(guī)格 | φ460*φ140 | φ610*φ200 | φ910*φ300 | φ1220*φ400 |
zui大拋光尺寸 | φ150mm | φ200mm | φ300mm | φ450mm |
拋光后平面度 | ±0.5u以內(nèi) | ±0.7u以內(nèi) | ±1u以內(nèi) | ±1u以內(nèi) |
工件平行度（25mm） | ±1u以內(nèi) | ±1.5u以內(nèi) | ±2u以內(nèi) | ±2u以內(nèi) |
工件粗糙度 | 0.4nm以內(nèi) | 0.4nm以內(nèi) | 0.4nm以內(nèi) | 0.4nm以內(nèi) |
拋光盤電機(jī)功率 | 2.2kw 3相380V | 3.7kw 3相380V | 7.7kw 3相380V | 11kw 3相380V |
拋光盤轉(zhuǎn)速 | 0~120rpm | 0~100rpm | 0~80rpm | 0~60rpm |
外形尺寸 | 700*1100*1100mm | 950*1200*2200mm | 1200*1400*2300mm | 1500*1700*2400mm |
重量 | 960kg | 1800kg | 2600kg | 4500kg |
液壓密封環(huán)雙面研磨機(jī)如有任何業(yè)務(wù)問題請登陸咨詢： http:///; http:///; http:///; http:///;：吳
液壓密封環(huán)雙面研磨機(jī)特點：
1.本系列拋光機(jī)的吸附盤由四臺單獨的電機(jī)驅(qū)動、速度與壓力可調(diào)。
2.控制系統(tǒng)中采用PLC彩色終端等*技術(shù)，系統(tǒng)的響應(yīng)速度更快、更精確，并具有遠(yuǎn)程監(jiān)控，遠(yuǎn)程維護(hù)的功能；
3.本系列拋光機(jī)運行平穩(wěn)，拋光后的產(chǎn)品厚度公差可控制在正負(fù)0.002mm范圍內(nèi)，粗糙度可達(dá)到0.0005mm。
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