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數(shù)控金剛石線切割機(jī)床,又稱數(shù)控砂線切割機(jī)床、金剛石線鋸、線鋸床、金剛石絲鋸。細(xì)線式金剛石線切割機(jī)床適合脆硬材料的切片加工。切割碳化硅片適合用細(xì)線式金剛石線切割機(jī)床。
圖為泰州市晨虹數(shù)控設(shè)備制造有限公司生產(chǎn)數(shù)控細(xì)線式金剛石線切割機(jī)床切割的碳化硅片??腿藥淼倪@塊碳化硅晶體直徑為90mm,每次使用砂線60米左右切割兩片試驗(yàn),切完兩片之后換新的砂線。兩次切割實(shí)時(shí)效率同為17μm/s,切割*片用時(shí)1小時(shí)37分55秒,第二片用時(shí)1小時(shí)40分鐘。
碳化硅的莫氏硬度為9.2~9.5之間,據(jù)說比人工藍(lán)寶石晶體要硬,但我們這次切割碳化硅晶體試驗(yàn)下來感覺碳化硅晶體其實(shí)比藍(lán)寶石好切割,碳化硅比藍(lán)寶石更脆一些,更容易崩邊。
切割的*片碳化硅如下圖。
這次進(jìn)行切割碳化硅晶體的是晨虹數(shù)控老式的細(xì)線金剛石線切割機(jī)床,而晨虹生產(chǎn)的金剛石線切割機(jī)床能上砂線3000米,切割效率預(yù)計(jì)比現(xiàn)在更快。每一片切割用時(shí)間不到兩個(gè)小時(shí)的速度,讓客人很驚訝,據(jù)客人講他們目前切割一片需要5個(gè)多小時(shí),我們的切割速度快了那么多,當(dāng)我們把數(shù)據(jù)告訴客人的時(shí)候,他簡(jiǎn)直不敢相信這是真的。